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        千級潔凈室工程

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         千級潔凈室工程

        千級潔凈室標準規格說明(一) 

          目前世界各國雖有自訂規格,但普遍還是采用美國聯邦標準209為多,今就209D及209E和世界上其他各國之所訂標準再做更進一步之介紹與相互比較。表1-1為美國聯邦標準209D之潔凈室規格。

        表1-1 美國聯邦標準209D潔凈室規格

        潔凈室等級(Class)

        微塵粒子

        壓力

        溫度

        風速與換氣率(次/hr)

        照度lux

        粒子大小um

        粒子數目Particles/ft3

        mmAg

        值域℃

        推薦值℃

        誤差值℃

        最大MAX%

        最小MIN%

        誤差%

        層流方式0.35~0.55 m/s

        1080

        ~

        1620

        1

        ≧0.5

        ≦1

        >1.3

        19.4~25

        22.2

        ±2.8

         

        ±1.4

        45

        30

        ±10

         

        ±5

        ≧5.0

        0

        10

        ≧0.5

        ≦10

        ≧5.0

        0

        100

        ≧0.5

        ≦100

        ≧5.0

        ≦1

        1000

        ≧0.5

        ≦1000

        亂流方式≧20 次/hr

        ≧5.0

        ≦10

        10000

        ≧0.5

        ≦10000

        ≧5.0

        ≦65

        100000

        ≧0.5

        ≦100000

        ≧5.0

        ≦700

         

          至于209E和209D等最大之不同點在于209E表示單位增加了公制單位,即潔凈室等級以“M”字頭表示,如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此類推,其目的在于配合國際公制單位之標準化。M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中≧0.5um之微塵粒子數目字以10的冪次方表示,而取指數為之;若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間(即非整數,則以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即為1992年9月新頒布之美國聯邦標準209E之內容,前述之M字母后的數字,可從表中0.5um列的數值中求出,讀者可試算之。

        表1-2 美國聯邦標準209E

        潔凈度等級

        微塵粒子

        0.1um

        0.2um

        0.3um

        0.5um

        5um

        單位

        單位

        單位

        單位

        單位

        公制

        英制

        (m3)

        (ft3)

        (m3)

        (ft3)

        (m3)

        (ft3)

        (m3)

        (ft3)

        (m3)

        (ft3)

        M1

         

        350

        9.91

        75.7

        2.14

        30.9

        0.875

        10.0

        0.283

        -

        -

        M1.5

        1

        1240

        35.0

        265

        7.50

        106

        3.00

        35.3

        1.00

        -

        -

        M2

         

        3500

        99.1

        757

        21.4

        309

        8.75

        100

        2.83

        -

        -

        M2.5

        10

        12400

        350

        2650

        75.0

        1060

        30.0

        353

        10.0

        -

        -

        M3

         

        35000

        991

        7570

        214

        3090

        87.5

        1000

        28.3

        -

        -

        M3.5

        100

        -

        -

        26500

        750

        10600

        300

        3530

        100

        -

        -

        M4

         

        -

        -

        75700

        2140

        30900

        875

        10000

        283

        -

        -

        M4.5

        1000

        -

        -

        -

        -

        -

        -

        35300

        1000

        247

        7.00

        M5

         

        -

        -

        -

        -

        -

        -

        100000

        2830

        618

        17.5

        M5.5

        10000

        -

        -

        -

        -

        -

        -

        353000

        10000

        2470

        70.0

        M6

         

        -

        -

        -

        -

        -

        -

        1000000

        28300

        6180

        175

        M6.5

        100000

        -

        -

        -

        -

        -

        -

        3530000

        100000

        24700

        700

        M7

         

        -

        -

        -

        -

        -

        -

        10000000

        283000

        61800

        1750

         

          美國聯邦標準FS 209D 都以英制每立方英尺為單位,而日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位;另外209D與日本JIS(B9920-1989)標準中另一不同點為209D是以0.5um之粒子數為計數基準,而日本則以0.1um微粒子為計數標準。日本標準之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示,即最好之等級為Class1,最差則為Class8,表1-3為日本JIS(9920-1989)之標準規定的粒子上限數(個/m3)。其Class1,Class2...之數目字以0.1um粒子為基準,而以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10之冪次方,取其指數而得。

        表1-3 日本JIS(9920 ~1989)標準

        粒徑級數

        Class1

        Class2

        Class3

        Class4

        Class5

        Class6

        Class7

        Class8

        0.1

        101

        102

        103

        104

        105

        106

        107

        108

        0.2

        2

        24

        236

        2,360

        23,600

        -

        -

        -

        0.3

        1

        10

        101

        1,010

        10,100

        101,000

        1,010,000

        10,100,000

        0.5

        -

        -

        35

        350

        3,500

        35,000

        350,000

        3,500,000

        5.0

        -

        -

        -

        -

        29

        290

        2,900

        29,000

         

        資料來源:Clean Room Technology By Crystal Cs. The Nederlands

         

        潔凈室標準規格說明(二)

          在德國工業及醫學等之多數領域中,潔凈室是為相關產業界所重視和期望發展之技術,因此在1967年完成了德國的潔凈室規格,在德國規格中潔凈室等級之表示法與美國規格不同,其表示法是以4*10”的形式表示粒徑0.5um以上之粒子數,而以其中之指數n規定等級,如4*103 即表示等級為3,此等級與美國聯邦規格Class100想近似。表1-4為德國規格所容許之粒子數與美國、法國、近似等級之表示。

        表1-4 德國規格表

        等級

        微塵粒徑(um)

        與別國等級比較

        0.5

        1

        5

        美國

        法國

        3

        4*103

        1*103

        -

        100

        4000

        4

        4*104

        1*104

        0.03*104

        -

        -

        5

        4*105

        1*105

        0.03*105

        10000

        400000

        6

        4*106

        1*106

        0.03*106

        100000

        4000000

         

        表1-5為美國聯邦標準209D標準粒子之數目上限值(個/ft3)(以0.5u粒子為依準)。由于美國與日本之規格中所表示之單位分類不同,為讓使用人員有一快速之獲知二者之相近標準等級,以期運用于工作上,故有必要將二者之間做一潔凈度級別之換算,如表1-6

        表1-5 美國209D規定粒子數(上限值)

        等級

        Class1

        Class10

        Class100

        Class1000

        Class10,000

        Class100,000

        0.1

        35(1,225)

        350(12,250

        -

        -

        -

        -

        0.2

        7.5(263)

        75(2,630)

        750(26,300)

        -

        -

        -

        0.3

        3(105)

        30(1,050)

        300(10,500)

        -

        -

        -

        0.5

        1(35)

        10(350)

        100(3,500)

        1000(35,000)

        10,000(350,000)

        100,000(3,500,000)

        5.0

        -

        -

        -

        7

        70

        700

         

        *()內之數值單位:個/M3

        表1-6 美日潔凈度級別換算

        日本

        美國

        級別3

        Class 1

        級別4

        Class 10

        級別5

        Class 100

        級別6

        Class 1000

        級別7

        Class 10000

        級別8

        Class 100000

         

          除了美國、日本、德國、之潔凈室標準外,世界上尚有英國、法國、澳洲及韓國、中國大陸之規格,表1-6即為世界各國潔凈度等級規格之比較。

        表1-6 世界各國潔凈度等級規格表

        國名

        美國

        美國

        日本

        英國

        德國

        法國

        澳洲

        韓國

        中國大陸

        規格

        FS209D

        FS209E

        JIS B 9920

        BS 5295

        VDI 2083

        AFN 4410

        AS 1386

        KS

        QJ2214

        年度

        1988

        1992

        1989

        1989

        1990

        1981

        1989

        1991

        1991

        基準粒子(um)

        0.5

        0.5

        0.1

        0.5

        1

        0.5

        0.5

        0.3

        0.1 0.5

        單位

        pcs/ft3

        pcs/M3

        pcs/M3

        pcs/M3

        pcs/M3

        pcs/M3

        pcs/M3

        pcs/M3

        pcs/M3

        Class

        -

        -

        1

        -

        -

        -

        -

        M1

        0.1um ~1

        -

        M1

        2

        -

        0

        -

        -

        M10

        0.1um ~5

        1

        M1.5

        3

        C

        1

        -

        0.035

        M100

        0.1um ~10

        10

        M2.5

        4

        D

        2

        -

        0.35

        M1000

        1

        100

        M3.5

        5

        E or F

        3

        4,000

        3.5

        M10000

        100

        1000

        M4.5

        6

        G or H

        4

        -

        35

        M100,000

        1,000

        10,000

        M5.5

        7

        I

        5

        400,000

        350

        M1,000,000

        10,000

        100,000

        M6.5

        8

        J

        6

        4,000,000

        3500

        M10,000,000

        100,000

        -

        M7

        -

        K

        7

        -

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        *以0.5um為區別。

         

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